书名：碳化硅器件工艺核心技术

分类：TN303/62

作者：贾护军,段宝兴,单光宝译

出版社：机械工业出版社

出版日期：2024.1

新书简介：

本书共9章,以碳化硅(SiC)器件工艺为核心,重点介绍了SiC材料生长、表面清洗、欧姆接触、肖特基接触、离子注入、干法刻蚀、电解质制备等关键工艺技术,以及高功率SiC单极和双极开关器件、SiC纳米结构的制造和器件集成等,每一部分都涵盖了上百篇相关文献,以反映这些方面的最新成果和发展趋势。